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產(chǎn)品型號：自動供液系統(tǒng)（CDS)
產(chǎn)品代碼：
產(chǎn)品價格：
折 扣 率： 0
最后更新：2025-09-17
關(guān) 注 度：110
生產(chǎn)企業(yè)：大正華嘉科技（香河）有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹自動供液系統(tǒng)（CDS)
主要用途：本設(shè)備主要用于濕法蝕刻清洗等制程工序需要使用的蝕刻液集中,進行配送，經(jīng)管道送至設(shè)備；具有自動化程度高、配比精確、操,作簡便等特點，而且具有良好的耐腐蝕性能；適用化學(xué)品：氫氟酸(HF),硝酸(HNO3),雙氧水(H2O2),氫氧化鉀(KOH),氨水(NH4OH),氫氧化鈉(NaOH),鹽酸(HCL),硫酸(H2SO4),異丙醇(IPA)等；選配模塊：※ 一用一備雙桶式或單桶式；※ 具備循環(huán)、過濾功能，可根據(jù)客戶的工藝選配多組過濾、循環(huán)系統(tǒng)；※ 當(dāng)其中一支桶內(nèi)的液體用完時，能夠自動進行不間斷雙桶切換；※ 具備化學(xué)液的取樣檢測功能；※ 可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲存建立管理；機臺特點：※ 化學(xué)品集中及持續(xù)不間斷供應(yīng)，多點分配；有防氣泡裝置，防止因氣泡影響配液精度；※ 可同時放置兩個20L/50L/200L等標準化學(xué)品儲液桶；化學(xué)品最大輸送流量：≤60L/min；※ 定時補充藥液或定量補充藥液，參數(shù)均可在觸摸屏上設(shè)定；※ 作業(yè)區(qū)內(nèi)酸堿氣體多種安全主動及被動保護相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全；※ 客制化設(shè)計能力佳，高設(shè)計能力滿足客戶制程工藝需要；設(shè)備制造：北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）. |
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